شركت فنون ريزتراشه ميزان
44003205 (21) 98+
3387730 (912) 98+ telegram: +989025461416 instagram: mizanmicro
[email protected]
ایران ، تهران ، خیابان آیت الله کاشانی ، بلوار اباذر ، بوستان سوم غربی ، پلاک 30 واحد 2
اطلاعات بیشتر

لایه نشانی چیست

لایه‏ نشانی:

لایه‏ نشانی با تکنولوژی‏ های مختلفی که وابسته به مواد و خواص مطلوب لایه است، انجام می‏ شود. لایه ‏نشانی با استفاده از روش‏ های شیمیایی شامل لایه نشانی تبخیر شیمیایی (CVD)، الکتروشیمیایی، Thermal oxidation، خودآرایی و لایه ‏نشانی‏ های فیزیکی شامل، تبخیر فیزیکی (PVD)، کندوپاش و Casting و غیره است.

 

لایه‏ نشانی لایه نازک با تکنولوژی‏ های مختلفی که وابسته به مواد و خواص مطلوب لایه است، انجام می‏ شود. لایه ‏نشانی با استفاده از روش‏ های شیمیایی شامل لایه نشانی تبخیر شیمیایی (CVD)، الکتروشیمیایی، اکسیداسیون حرارتی، خودآرایی و لایه ‏نشانی ‏های فیزیکی شامل، تبخیر فیزیکی (PVD)، کندوپاش و غیره است. روش‏های مختلفی برای لایه نشانی بخار فیزیکی (PVD) جهت ایجاد لایه نازک وجود دارند که می‏ توان آن‏ها را به دو گروه اصلی تقسیم کرد:

الف) روش ‏هایی که با تبخیر حرارتی همراه است که ماده مورد نظر در محیط خلأ حرارت داده می ‏شود تا جایی‏ که فشار بخار آن از فشار محیط خلأ بیشتر گردد.

ب) روش‏ هایی که با پاشش یونی (Ionic Sputtering) همراه است که یون‏ های پر انرژی به هدف جامدی ضربه می ‏زنند و اتم‏ های آن را می‏ کنند.

معادل فارسی واژه اسپاترینگ "کندوپاش" نام دارد که بیانگر "کندن" ذرات ماده هدف و "پاشیدن" آن روی زیر لایه می‏ باشد. در اینجا به توضیح روش پاشش یونی می‏ پردازیم.