شركت فنون ريزتراشه ميزان
44003205 (21) 98+
3387730 (912) 98+ telegram: +989025461416
info@mmt-co.com
ایران ، تهران ، خ آیت الله کاشانی ، بلوار اباذر ، بوستان سوم غربی ، پلاک 30 واحد 2
اطلاعات بیشتر

فوتولیتوگرافی


فوتولیتوگرافی:


1.     توانایی طراحی دقیق الگوهای مد نظر و ساخت ماسکهای طلقی و شیشه ای الگوها، در ابعاد میکرونی.

2.     لیتوگرافی توسط فوتورزیست مثبت (SHIPLEY) یا منفی (SU8)، بر روی زیرلایه‏ های شیشه، سیلیکون، فلز یا عایق

3.     امکان ایجاد طرح های با حداقل اندازه 10 میکرون و فاصله 10 میکرون 

4.     قابلیت نوردهی اشعه UV در دایره ای به قطر 9 سانتی متر

5.     مجهز به الاینر  



 




 

                                سیستم اسپین کوتینگ برای ایجاد ضخامتهای مختلف فوتورزیست 



           دولوپ فوتورزیست منفی

                                                                                                    




نمونه هایی از لیتوگرافی مثبت مورد استفاده به عنوان الکترود


                                                                       



                                                            




نمونه هایی از الاینینگ دو طرح روی یک چیپ:



             الاینیگ PDMS روی الکترودهای طلا 




       

                                   الاینینگ دو طرح SU8 در امتداد هم با دو ضخامت مختلف

                        

                                                                                                       


                                              لیتوگرافی کروم روی Kapton و الاینیگ SU8 روی زیرلایه




                                         الاینینگ کانال و الکترود 40 میکرومتری